[发明专利]一种光刻机运动台系统在审
| 申请号： | 202110450418.2 | 申请日： | 2021-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN113176713A | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 张俊杰 | 申请（专利权）人： | 上海图双精密装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海海贝律师事务所 31301 | 代理人： | 宋振宇 |
| 地址： | 201712 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻机运动台系统，包括基座以及位于基座上方的运动台，所述基座的上表面两侧均安装有防扩罩，所述防扩罩为两侧通风结构，且防扩罩的内部安装有并排的收风组件，所述收风组件包括固定在防扩罩内部的中轴，所述中轴的圆周外部转动安装有安装筒，所述安装筒的外部均匀的安装有扇叶，本发明设置了收风组件，在运动台运动的过程中产生的气流可推动扇叶，使得扇叶与安装筒能够发生转动，这样可消耗气流，可避免气流外扩，影响外部传感器的运行，本发明在基座上设置了镂空部，镂空部能够溢出部分气流，进一步避免气流影响基座与运动台上的传感器的运行，设置了减振橡胶，保证了运动台的稳定运行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 机运 系统 | ||
【主权项】：
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