[发明专利]镀膜机用六硼化铈电子枪在审
| 申请号： | 202110433975.3 | 申请日： | 2021-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN113201716A | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 徐鸣;唐欢欢;安建昊 | 申请（专利权）人： | 江苏微凯机械有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/06;H01J1/14 |
| 代理公司： | 扬州邗诚专利代理事务所(普通合伙) 32469 | 代理人： | 吴淑芳 |
| 地址： | 225000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种镀膜机用六硼化铈电子枪，包括安装底座，安装底座上设有六硼化铈阴极体，六硼化铈阴极体为圆柱体。本发明用六硼化铈代替钨丝作为阴极体具有极佳的效果：1.镀膜室中即使有极少的氧气存，六硼化铈阴极体的损耗较钨丝小很多，使用寿命长；2.相对于钨丝，六硼化铈阴极体定期更换的时间较长，镀膜工艺稳定；3.发电子能力强，轰击高熔点物料的效率高；4.电子的斑点(聚焦点)小，能量集中，轰击高熔点物料的效率高；5.使用较小的电压即可达到较强的发电子能力，节省能源。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 机用六硼化铈 电子枪 | ||
【主权项】：
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