[发明专利]镀膜机用六硼化铈电子枪在审
申请号: | 202110433975.3 | 申请日: | 2021-04-22 |
公开(公告)号: | CN113201716A | 公开(公告)日: | 2021-08-03 |
发明(设计)人: | 徐鸣;唐欢欢;安建昊 | 申请(专利权)人: | 江苏微凯机械有限公司 |
主分类号: | C23C14/30 | 分类号: | C23C14/30;C23C14/06;H01J1/14 |
代理公司: | 扬州邗诚专利代理事务所(普通合伙) 32469 | 代理人: | 吴淑芳 |
地址: | 225000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 镀膜 机用六硼化铈 电子枪 | ||
本发明提供一种镀膜机用六硼化铈电子枪,包括安装底座,安装底座上设有六硼化铈阴极体,六硼化铈阴极体为圆柱体。本发明用六硼化铈代替钨丝作为阴极体具有极佳的效果:1.镀膜室中即使有极少的氧气存,六硼化铈阴极体的损耗较钨丝小很多,使用寿命长;2.相对于钨丝,六硼化铈阴极体定期更换的时间较长,镀膜工艺稳定;3.发电子能力强,轰击高熔点物料的效率高;4.电子的斑点(聚焦点)小,能量集中,轰击高熔点物料的效率高;5.使用较小的电压即可达到较强的发电子能力,节省能源。
技术领域
本发明涉及镀膜机技术领域,具体为一种镀膜机用六硼化铈电子枪。
背景技术
电子枪为镀膜机中常用的部件,其在通电高温下可电离出电子对高熔点的物料进行轰击,进而使得高熔点的物料熔融而形成蒸汽,进而物料的蒸汽可镀膜到目标工件上。
目前,现有的电子枪选用钨丝作为阴极,但是钨丝存在以下的缺点:1.镀膜室中有极少的氧气存在会使得钨丝氧化而损耗严重,使用寿命短;2.钨丝需要2周进行更换一次,安装更换麻烦,对工艺造成不稳定;3.发电子能力小,导致轰击高熔点物料的效率低;4.电子的斑点(聚焦点)大,不利于能量的集中,导致轰击高熔点物料的效率低。因此,需要一种电子枪能够解决上述问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种镀膜机用六硼化铈电子枪,以解决上述背景技术中提出的问题。
为了解决上述技术问题,本发明提供如下技术方案:一种镀膜机用六硼化铈电子枪,包括安装底座,所述安装底座上设有六硼化铈阴极体。
所述六硼化铈阴极体为圆柱体。
圆柱体的所述六硼化铈阴极体的周侧由上至下设有环状的凸起。
圆柱体的所述六硼化铈阴极体的表面上设有若干凹槽。
所述六硼化铈阴极体也可为长方体、正方体或圆锥体。
与现有技术相比,本发明所达到的有益效果是:
本发明用六硼化铈代替钨丝作为阴极体具有极佳的效果:1.镀膜室中即使有极少的氧气存,六硼化铈阴极体的损耗较钨丝小很多,使用寿命长;2.相对于钨丝,六硼化铈阴极体定期更换的时间较长,镀膜工艺稳定;3.发电子能力强,轰击高熔点物料的效率高;4.电子的斑点(聚焦点)小,能量集中,轰击高熔点物料的效率高;5.使用较小的电压即可达到较强的发电子能力,节省能源。
附图说明
附图用来提供对本发明的进一步理解,并且构成说明书的一部分,并不构成对本发明的限制。在附图中:
图1是本发明的主视图;
图2是本发明的俯视图;
图3是本发明实施例1的主视图;
图4是本发明实施例1的俯视图;
图5是本发明实施例2的主视图;
图6是钨丝阴极的结构示意图;
图中:1安装底座;2六硼化铈阴极体。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
请参阅图1,本发明提供技术方案:一种镀膜机用六硼化铈电子枪,包括安装底座1,所述安装底座1上设有六硼化铈阴极体2。
所述六硼化铈阴极体2为圆柱体。
实施例1
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