[发明专利]一种晶圆缺陷的多晶不良检测方法、装置在审
| 申请号： | 202110427427.X | 申请日： | 2021-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN112991332A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 别晓辉;王开开;别伟成;单书畅 | 申请（专利权）人： | 视睿（杭州）信息科技有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/11;G06T7/136;G06N3/04;G06N3/08;H01L21/66 |
| 代理公司： | 杭州华知专利事务所(普通合伙) 33235 | 代理人： | 张德宝 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市余杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种晶圆缺陷的多晶不良检测方法、装置、计算机设备和存储介质。所述方法包括：加载晶圆待检测图像；将所述晶圆待检测图像通过图像阈值分割方法，获得晶圆颗粒图像；对所述晶圆待检测图像进行阈值分割，获得多晶区域的位置；根据晶圆颗粒图像的目标框边界距离，判断所述晶圆颗粒图像是否为多晶不良颗粒；如果所述晶圆颗粒图像不为多晶不良颗粒，再次判断所述晶圆颗粒图像是否位于所述多晶区域的位置；如果所述晶圆颗粒图像位于所述多晶区域的位置，则所述晶圆颗粒图像为多晶不良颗粒。采用本方法能够提高多晶不良缺陷检测的准确率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 缺陷 多晶 不良 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
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