[发明专利]一种测量甲醛和苯的双侧抛PCF-SPR气体传感器在审

专利信息
申请号: 202110410260.6 申请日: 2021-04-16
公开(公告)号: CN113075169A 公开(公告)日: 2021-07-06
发明(设计)人: 沈常宇;黄振林;王志浩;张岳铭;刘洋 申请(专利权)人: 中国计量大学
主分类号: G01N21/552 分类号: G01N21/552
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 310018 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种测量甲醛和苯的双侧抛PCF‑SPR气体传感器,由宽带光源、光衰减器、双侧抛镀膜PCF、气室、进气口、出气口、光谱仪、第一单模光纤、第二单模光纤、第三单模光纤组成;其中双侧抛镀膜PCF的上侧抛区镀有Ag膜与In2O3/MoS2复合膜,下侧抛区镀有Au膜与Pd‑TiO2/MoS2复合膜,通过SPR效应分别对HCHO和C6H6两种VOC气体进行浓度传感。该发明具有响应迅速,灵敏度高,易组装,气体选择性的优点,极具实用价值与市场价值。
搜索关键词: 一种 测量 甲醛 双侧抛 pcf spr 气体 传感器
【主权项】:
暂无信息
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