[发明专利]一种测量甲醛和苯的双侧抛PCF-SPR气体传感器在审
| 申请号： | 202110410260.6 | 申请日： | 2021-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN113075169A | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 沈常宇;黄振林;王志浩;张岳铭;刘洋 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01N21/552 | 分类号： | G01N21/552 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 测量 甲醛 双侧抛 pcf spr 气体 传感器 | ||
1.一种测量甲醛和苯的双侧抛PCF-SPR气体传感器，由宽带光源(1)、光衰减器(2)、双侧抛镀膜PCF(3)、气室(4)、进气口(5)、出气口(6)、光谱仪(7)、第一单模光纤(8)、第二单模光纤(9)、第三单模光纤(10)组成；其特征在于：宽带光源(1)的光输出端通过第一单模光纤(8)与光衰减器(2)左端相连，光衰减器(2)右端通过第二单模光纤(9)与双侧抛镀膜PCF(3)左端连接，双侧抛镀膜PCF(3)置于气室(4)内，待测气体从进气口(5)通入进入气室(4)，由出气口(6)排出，双侧抛PCF(3)右端通过第三单模光纤(10)与光谱仪(7)相连接进行实时光谱监测；
所述的双侧抛PCF(3)的上侧抛区(31)表面镀有50nmAg膜(34)，Ag膜(34)上再镀40nmIn2O3/MoS2复合膜(33)；下侧抛区(32)表面镀有50nmAu膜(35)，Au膜(35)上再镀40nmPd-TiO2/MoS2复合膜(36)。
2.根据权利要求1所述的一种测量甲醛和苯的双侧抛PCF-SPR气体传感器,其特征在于:双侧抛镀膜PCF(3)的侧抛区域上下对称，分别为上侧抛区(31)、下侧抛区(32)；上侧抛区(31)与下侧抛区(32)的侧抛长度均为4cm，宽度均为120μm，侧抛深度均为52μm。
3.根据权利要求1所述的一种测量甲醛和苯的双侧抛PCF-SPR气体传感器,其特征在于:双侧抛镀膜PCF(3)的纤芯(37)直径为12μm，空气孔(38)直径为3.5μm，空气孔间距为7.9μm。
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