[发明专利]一种用于化学机械抛光的CeO2

摘要

本发明公开一种用于化学机械抛光的CeO2纳米颗粒及其制备方法，包括步骤1：将Ce(NO3)3·6H2O与熔盐体系按照摩尔比为1:(10～40)研磨混合，得到混合物；步骤2：将步骤1中的混合物倒入无水乙醇中搅拌均匀后倒入坩埚中，并置于干燥箱干燥得到混合盐；步骤3：将步骤2中的混合盐连同坩埚一起置于马弗炉中，以5℃/min的升温速率自室温升温至熔盐体系的烘焙温度，保温2～4h后自然冷却，取出反应产物经洗涤后得到白色沉淀物；步骤4：将步骤3中得到的白色沉淀物倒入离心管并置于离心机中离心洗涤，后经干燥研磨得到CeO2纳米粉体；该制备方法具有选用原料廉价、制备工艺简单、生产周期短的特点；通过该方法制备的CeO2纳米粉体具有尺寸分布均匀、分散性好的优点。