[发明专利]一种液态原料真空蒸发的卷对卷连续镀膜设备

摘要

本发明涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种液态原料真空蒸发的卷对卷连续镀膜设备，包括真空室，真空室内沿着基材运行路径依次设置有放卷机构、镀膜机构、收卷机构，放卷机构包括放卷辊，收卷机构包括收卷辊，镀膜机构包括液态原料蒸发装置，在基材运行的路径上还设置有离子清洗装置、加热器和多个引导辊，从放卷辊出来的基材依次经过多个引导辊、收卷辊，离子清洗装置用于对基材进行离子清洗，加热器用于对基材进行加热，液态原料蒸发装置的喷射方向朝向基材。本发明能够在大幅宽基材上连续镀制疏水疏油膜层，满足大批量生产的需求，并且产品质量稳定；还能实现在基材上连续镀制疏水疏油膜和其他膜层，便于镀制多层膜。