[发明专利]高纯氧化亚氮在制备太阳能电池片中的应用

摘要

本发明涉及太阳能电池技术领域，公开了高纯氧化亚氮在制备太阳能电池片中的应用，包括以下步骤：对氧化亚氮原料气进行压缩后，依次经活化后的13X‑APG分子筛、4A分子筛、改性分子筛吸附除杂，获得高纯氧化亚氮；所述改性分子筛为负载有金属氧化物的分子筛，所述金属氧化物为氧化钠、氧化钾和氧化锂中的一种或多种；硅片经预处理后，依次沉积SiOx膜和SixNy膜，制成太阳能电池硅片。本发明在氧化亚氮的纯化过程中，通过在吸附除杂前对氧化亚氮原料气进行压缩，并依次采用三种分子筛对原料气进行吸附除杂，将物理吸附与化学吸附相结合，能提高氧化亚氮的纯度，用其对硅片进行PECVD镀膜，能获得性能更好的太阳能电池硅片。