[发明专利]谐振器和谐振器的制造方法有效
| 申请号： | 202110394295.5 | 申请日： | 2021-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN112953445B | 公开（公告）日： | 2023-09-15 |
| 发明（设计）人： | 李红浪;许欣;柯亚兵 | 申请（专利权）人： | 广东广纳芯科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/15 | 分类号： | H03H9/15;H03H3/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 邓晔 |
| 地址： | 510700 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种谐振器和谐振器的制造方法，该谐振器的特征在于，包括：衬底；反射层，该反射层形成在衬底上，并且包括一个或多个彼此堆叠形成的声速层组，该声速层组包括第一声速层以及形成在第一声速层上并且具有比所述第一声速层具有的声速要小的声速的第二声速层；以及压电层，该压电层由PMNT材料形成并且形成在反射层上。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振器 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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