[发明专利]一种低对称性层状材料Te的可控制备方法有效

专利信息
申请号: 202110392272.0 申请日: 2021-04-13
公开(公告)号: CN113279058B 公开(公告)日: 2023-03-24
发明(设计)人: 王振;胡伟达;彭孟;余弈叶;王鹏;张莉丽;王芳;谢润章;陈效双;陆卫 申请(专利权)人: 中国科学院上海技术物理研究所
主分类号: C30B29/02 分类号: C30B29/02;C30B25/16;C30B25/00;B82Y40/00
代理公司: 上海沪慧律师事务所 31311 代理人: 郭英
地址: 200083 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种低对称性层状材料Te的可控制备方法。该方法利用简单廉价的化学气相沉积,可控的生长六边形、五边形、四边形等不同形貌的Te纳米片和Te纳米线。可控生长的过程是利用单温区的管式炉,SnTe2粉末作为反应源料,放置炉子炉子中间,衬底硅片放置于炉子的末端。使用机械泵抽取真空,气路中的压强达到0.5Pa,通入氮气,压强升到1000Pa。打开管式炉的电源开关,加热到650℃,反应30min,关闭电源。冷却室温后,在硅片上生长出Te纳米线和不同形貌Te纳米片,扫描电子显微镜和原子力显微镜表征Te纳米材料。本发明的优点在于低成本、高效率、准确可控地制备高质量、不同纳米形貌的低对称性层状材料Te。
搜索关键词: 一种 对称性 层状 材料 te 可控 制备 方法
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