[发明专利]一种低对称性层状材料Te的可控制备方法

权利要求书

1.一种低对称性层状材料Te的可控制备方法，其特征在于步骤如下：

步骤一：衬底硅片和SnTe₂粉末的放置，将放置于耐高温石英管中长和宽分别约10cm和2cm的硅片缓慢推入单温区管式炉的管式炉末端；用电子天平称0.1g的SnTe₂粉末，倒入陶瓷石英舟，并将陶瓷舟缓慢的推到管式炉的中间；

步骤二：N₂的通入和压强的控制，将管式炉的一端安装好，为预除去气路中的空气，打开N₂控制阀门，以200sccm通入N₂ 30分钟；关闭N₂的通入，进一步除去气路的中的空气，将机械泵打开，抽取气路中的气体，待压强达0.4Pa后，100sccm继续通入N₂；反应压强达1E3 Pa，关闭机械泵；

步骤三：层状材料Te的生长阶段，对管式炉进行加热，从室温以65℃/min速率升到650℃；在650℃继续加热，保温30min；自然冷却降温；

步骤四：取出层状材料Te，冷却到室温，关闭通入N₂的阀门；打开管子的一端，取出盛有SnTe₂粉末的石英舟；取出硅衬底的石英舟，用镊子将硅衬底夹入样品盒中；

步骤五：层状材料Te表征，将生长了层状材料Te的硅衬底，放入场发射扫描电子显微镜中，观察不同形貌的Te材料，并标定Te纳米片的边长和Te纳米线的直径；利用原子力显微镜表征Te纳米片的厚度。

2.根据权利要求1所述的一种低对称性层状材料Te的可控制备方法，其特征在于，所述的单温区管式炉的长为400mm，宽为280mm，高为380mm。

3.根据权利要求1所述的一种低对称性层状材料Te的可控制备方法，其特征在于，所述的耐高温石英管的内径为20mm，外径为25mm，长度为150mm。

4.根据权利要求1所述的一种低对称性层状材料Te的可控制备方法，其特征在于，所述的SnTe₂粉末的纯度为99.999％。

5.根据权利要求1所述的一种低对称性层状材料Te的可控制备方法，其特征在于，所述的氮气纯度为5N。

6.根据权利要求1所述的一种低对称性层状材料Te的可控制备方法，其特征在于，所述的衬底硅片为n型重掺的硅片。