[发明专利]一种探针台针痕检测方法在审
| 申请号： | 202110390687.4 | 申请日： | 2021-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN113075233A | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 王蕾;高跃红;田学光;郑福志;崔立志;金钊;帅智艳;沐阳 | 申请（专利权）人： | 长春光华微电子设备工程中心有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人： | 高一明;郭婷 |
| 地址： | 130102 吉林省长*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及半导体技术领域。具体提供一种探针台针痕检测方法，通过建立运动线程和图像线程并行工作，使探针台的晶圆移动、图像处理、数据保存同时进行。本发明提供的针痕检测方法能够在晶圆测试过程中监测测试精度稳定性，保证测试良率，还能够监测针卡的使用情况，是否有针出现异常等；且采用双线程方式，同时进行运动和图像数据处理，极大地提高了检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探针 台针痕 检测 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长春光华微电子设备工程中心有限公司，未经长春光华微电子设备工程中心有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110390687.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
