[发明专利]热敏打印头及其制造方法以及热敏打印机在审
| 申请号： | 202110388774.6 | 申请日： | 2021-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN113561666A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 竹田裕史 | 申请（专利权）人： | 罗姆股份有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/335 | 分类号： | B41J2/335;G03F1/42 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 龚诗靖 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的课题在于不需要在开始用来形成发热体的光刻时在衬底形成对准标记。本发明涉及一种热敏打印头及其制造方法以及热敏打印机。方法包含以下步骤：提供一个面(31a)具有特定结晶方位的半导体制成的衬底(31)；在一个面(31a)上形成硬质掩模(32)，硬质掩模(32)划定形成在一个面(31a)上的凸部(44)及对准标记(45)；对形成有硬质掩模(32)的一个面(31a)进行各向异性蚀刻而形成凸部(44)及对准标记(45)，凸部(44)被第1倾斜面(42)从两侧夹在中间而形成；从一个面(31a)去除硬质掩模(32)；及利用光刻在凸部(44)形成发热体；且在形成发热体的步骤中，将对准标记(45)用于光刻的对位。 | ||
| 搜索关键词： | 热敏 打印头 及其 制造 方法 以及 打印机 | ||
【主权项】：
暂无信息
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