[发明专利]一种基于AOD扫描的双光束高速激光直写方法与装置在审
申请号: | 202110388078.5 | 申请日: | 2021-04-12 |
公开(公告)号: | CN113515017A | 公开(公告)日: | 2021-10-19 |
发明(设计)人: | 刘秋兰;匡翠方;刘旭;李海峰;吴兰;徐良;丁晨良;魏震;王洪庆 | 申请(专利权)人: | 之江实验室;浙江大学 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人: | 孙孟辉 |
地址: | 310023 浙江省杭州市余*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于声光偏转(AOD)扫描的双光束高速激光直写方法和装置,该装置包括两路光,其中一路光在汇聚到样品面上产生实心光斑,用于激发光刻胶的聚合反应;另一路光汇聚到样品面上产生空心光斑,用于抑制或终止光刻胶聚合反应中的某个关键步骤,从而抑制光聚合反应。两束光进行对准合束后经过两个紧靠并互相垂直放置着的AOD,其中一个进行x方向扫描,另一个进行y方向扫描,两者同时实现光束在样品面上高速高精度的二维扫描。利用本发明,有望实现速度和分辨率分别达10^6点/s和亚50 nm的高速、超分辨激光直写,为超分辨激光微纳加工技术提高加工效率提供有力支撑。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 aod 扫描 光束 高速 激光 方法 装置 | ||
【主权项】:
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