[发明专利]一种基于AOD扫描的双光束高速激光直写方法与装置

权利要求书

1.一种基于AOD扫描的双光束高速激光直写装置，包括用于引发光刻胶聚合反应的激发光路、用于抑制或终止光刻胶材料聚合反应中某个关键步骤的去激发光路、用于两束光进行合束的合束器、用于对合束后的光进行二维扫描的AOD器件对、用于扫描中继的扫描透镜和场镜、以及物镜，其特征在于：

设有沿激发光路依次设置的：

第一激光器，用于产生激发光，用以引发光刻胶材料的单光子吸收或双光子吸收的光聚合反应；

第一光开关，用于控制激发光的开关并实现光强的调控；

第一半波片，用于旋转激发光的线偏振方向；

第一准直器，用于激发光的准直与扩束，使激发光变成具有一定大小光斑尺寸的平行光束；

设有沿去激发光路依次设置的：

第二激光器，用于产生去激发光，用以抑制或终止光刻胶光聚合反应中的某个关键步骤，从而抑制光刻胶的光聚合反应；

第二光开关，用于控制去激发光的开关并实现光强的调控；

第二半波片，用于旋转去激发光的偏振方向；

第二准直器，用于去激发光的准直与扩束，使激发光变成与激发光具有相同光斑大小的平行光束；

涡旋相位板，用于调制去激发光的相位，使其经后续物镜汇聚后变成空心光斑；

合束器，用于将激发光与去激发光进行对准合束；

设有合束后的光路设置的：

第一AOD，用于对光束实现沿y方向扫描；

第二AOD，用于对光束实现沿x方向扫描；

扫描透镜，用于将平行光变成汇聚光；

场镜，用于将汇聚光变成平行光，与扫描透镜结合用于调整出射平行光光斑大小与入射于后续物镜入瞳面的角度；

物镜，用于将具有一定扫描角的平行光汇聚于焦面处的样品上；

精密位移平台，用于放置待刻样品，实现待刻样品精密轴向移位；

还包括：

计算机，用于给所述第一光开关和第二光开关输入控制信号以控制其对光的开关调节，也给所述第一AOD和第二AOD输入控制信号以控制其对光的扫描角度，同时给所述精密位移台输入控制信号以控制其轴向移动。

2.如权利要求1所述的基于AOD扫描的双光束高速激光直写装置，其特征在于：所述第一激光器为连续光激光器，用于引发光刻胶的单光子吸收聚合反应，或者为飞秒脉冲激光器，用于用于引发光刻胶的双光子吸收聚合反应。

3.如权利要求1所述的基于AOD扫描的双光束高速激光直写装置，其特征在于：所述第二激光器为连续光激光器。

4.如权利要求1所述的基于AOD扫描的双光束高速激光直写装置，其特征在于：所述第二激光器的波长与第一激光器的波长相等。

5.如权利要求1所述的基于AOD扫描的双光束高速激光直写装置，其特征在于：所述第一AOD和第二AOD互相垂直放置。