[发明专利]一种Ta2有效

专利信息
申请号: 202110380106.9 申请日: 2021-04-09
公开(公告)号: CN113213926B 公开(公告)日: 2023-03-24
发明(设计)人: 刘秉宁;左宁伟;征卫星;罗文;饶晓方 申请(专利权)人: 宁夏中色新材料有限公司
主分类号: C04B35/495 分类号: C04B35/495;C04B35/622;C04B35/64;C23C14/08;C23C14/34;C23C14/28
代理公司: 中国和平利用军工技术协会专利中心 11215 代理人: 周玄;李智婧
地址: 753000 宁夏回族*** 国省代码: 宁夏;64
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明给出了一种Ta2O5陶瓷靶材的制备方法,包括:步骤一、将Ta(OH)5粉末依次进行低温煅烧和高温煅烧,得到Ta2O5粉末;所述低温煅烧的温度为600~750℃,低温煅烧的时间为3~6小时,低温煅烧的气氛为空气气氛;所述高温煅烧的温度为800~1200℃,高温煅烧的时间为2~8小时,高温煅烧的气氛为氧气气氛;步骤二、将去离子水和分散剂加入Ta2O5粉末中,得到Ta2O5料浆后依次进行研磨、雾化造粒、团化、模压、冷等静压和常压氧气气氛烧结,得到镀膜用的Ta2O5陶瓷靶材。本发明还给出了一种Ta2O5陶瓷靶材。本发明的Ta2O5陶瓷靶材的气孔率小、致密度高(相对密度≥99%)。
搜索关键词: 一种 ta base sub
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁夏中色新材料有限公司,未经宁夏中色新材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202110380106.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top