[发明专利]一种具有穿孔结构的扭转式微机械开关在审
| 申请号： | 202110359304.7 | 申请日： | 2021-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN113284755A | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 李普;王金湘;张建润;孙蓓蓓;卢熹;张宁 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H01H19/14 | 分类号： | H01H19/14 |
| 代理公司： | 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 | 代理人： | 王雪 |
| 地址： | 211100 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有穿孔结构的扭转式微机械开关，包括：一个具有交错穿孔的扭转平板、两个扭转支撑梁、两个固定支撑、一个固定电极和基底。交错穿孔矩形平板和基底间施加驱动电压，扭转平板做扭转运动。以往的矩形板没有穿孔，无孔平板因为转动惯量大，挤压膜阻尼大，所以开关响应慢，能量损耗大，应用价值不高。本发明提出一种具有穿孔结构的扭转式微开关，这些孔降低平板转动惯量，使得器件响应更快。穿孔也降低了挤压膜阻尼，大大减小了阻尼力导致的时滞。本发明提出穿孔比0.45的矩形平板，挤压膜阻尼减小十倍以上，转动惯量降低20％，吸合电压仅升高10％。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 穿孔 结构 扭转 式微 机械 开关 | ||
【主权项】：
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