[发明专利]一种具有穿孔结构的扭转式微机械开关在审
| 申请号： | 202110359304.7 | 申请日： | 2021-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN113284755A | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 李普;王金湘;张建润;孙蓓蓓;卢熹;张宁 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H01H19/14 | 分类号： | H01H19/14 |
| 代理公司： | 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 | 代理人： | 王雪 |
| 地址： | 211100 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 穿孔 结构 扭转 式微 机械 开关 | ||
1.一种具有穿孔结构的扭转式微机械开关，包括基底(1)、扭转平板(4)、固定支撑(2)、扭转支撑梁(3)和固定电极板(5)，所述固定支撑(2)和固定电极板(5)设置在所述基底(1)上，所述扭转平板(4)平行设置在固定电极板(5)上方，扭转平板(4)和固定支撑(2)之间通过所述扭转支撑梁(3)固定连接，扭转平板(4)可以以扭转支撑梁(3)为中心上下扭转，其特征在于：所述扭转平板(4)上开设有若干通孔(6)，所述通孔(6)按照一定的穿孔比均匀布设在扭转平板(4)上。
2.根据权利要求1所述一种具有穿孔结构的扭转式微机械开关，其特征在于：所述通孔(6)按照等边三角形阵列均匀排列。
3.根据权利要求2所述一种具有穿孔结构的扭转式微机械开关，其特征在于：所述扭转平板(4)的穿孔比为其中lp是正方形的通孔(6)的相邻孔-孔间距，lh是通孔(6)的边长。
4.根据权利要求3所述一种具有穿孔结构的扭转式微机械开关，其特征在于：所述扭转平板(4)的穿孔比为所述通孔(6)的数量至少为50个。
5.根据权利要求4所述一种具有穿孔结构的扭转式微机械开关，其特征在于：所述扭转平板(4)为矩形，所述扭转支撑梁(3)有两个，扭转支撑梁(3)的一端连接所述固定支撑(2)，另一端连接扭转平板(4)侧边的两端或中间。
6.根据权利要求5所述一种具有穿孔结构的扭转式微机械开关，其特征在于：所述扭转平板(4)的长、宽、厚度分别是L＝250μm、W＝500μm和Tp＝10μm，扭转刚度为7.78×10-9N·m/rad，扭转平板(4)和固定电极板(5)之间的间隙为5μm，通孔(6)间距lp＝50μm，通孔(6)数量为50个。
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