[发明专利]光路调节方法、检测设备和存储介质在审
| 申请号： | 202110350348.3 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN113075127A | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;白园园;马砚忠;张嵩 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 邵泳城 |
| 地址： | 518110 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请实施方式的光路调节方法用于检测设备，检测设备包括泵浦光路及检测光路，泵浦光束沿泵浦光路传输至工件，检测光束沿检测光路传输至工件，光路调节方法包括：设置检测反射镜的反射面于工件所在位置，且使检测反射镜垂直于检测光束和泵浦光束所在的入射面；及调节泵浦光束的传播方向，和/或调节检测光束的传播方向，使泵浦光路中泵浦光束与经检测反射镜反射后的检测光束重合，及检测光路中检测光束与经检测反射镜反射后的泵浦光束重合。光路调节方法和检测设备能够实现检测光束和泵浦光束相互配合，以入射至工件的同一位置从而对工件进行检测，从而提高检测准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 调节 方法 检测 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
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