[发明专利]光路调节方法、检测设备和存储介质

说明书

本申请实施方式的光路调节方法用于检测设备，检测设备包括泵浦光路及检测光路，泵浦光束沿泵浦光路传输至工件，检测光束沿检测光路传输至工件，光路调节方法包括：设置检测反射镜的反射面于工件所在位置，且使检测反射镜垂直于检测光束和泵浦光束所在的入射面；及调节泵浦光束的传播方向，和/或调节检测光束的传播方向，使泵浦光路中泵浦光束与经检测反射镜反射后的检测光束重合，及检测光路中检测光束与经检测反射镜反射后的泵浦光束重合。光路调节方法和检测设备能够实现检测光束和泵浦光束相互配合，以入射至工件的同一位置从而对工件进行检测，从而提高检测准确性。

技术领域

本申请涉及检测技术领域，更具体而言，涉及一种光路调节方法、检测设备和非易失性计算机可读存储介质。

背景技术

泵浦光需要照射到工件表面以激发工件产热及振动，进一步形成声脉冲。同时，检测光需要照射到工件表面以对样品进行检测。若泵浦光和检测光会聚在工件表面不同的位置，将使得泵浦光无法配合检测光进行检测，从而影响检测效果。

发明内容

本申请实施方式提供一种光路调节方法、检测设备和非易失性计算机可读存储介质。

本申请实施方式的光路调节方法用于检测设备，所述检测设备包括泵浦光路及检测光路，泵浦光束沿所述泵浦光路传输至所述工件，检测光束沿所述检测光路传输至工件，所述光路调节方法包括：设置检测反射镜的反射面于所述工件所在位置，且使所述检测反射镜垂直于所述检测光束和所述泵浦光束所在的入射面；及调节所述泵浦光束的传播方向，和/或调节所述检测光束的传播方向，使所述泵浦光路中所述泵浦光束与经所述检测反射镜反射后的光束重合，及所述检测光路中所述检测光束与经所述检测反射镜反射后的光束重合。

本申请实施方式的检测设备包括检测光路、泵浦光路和一个或多个处理器。检测光路，检测光束沿所述检测光路传输至工件；泵浦光路，泵浦光束沿所述泵浦光路传输至所述工件；一个或多个处理器，一个或多个所述处理器用于：设置检测反射镜于所述工件所在位置，且使所述检测反射镜垂直于所述检测光束和所述泵浦光束所在的入射面；及调节所述泵浦光束的传播方向，和/或调节所述检测光束的传播方向，使所述泵浦光路中所述泵浦光束与经所述检测反射镜反射后的光束重合，及所述检测光路中所述检测光束与经所述检测反射镜反射后的光束重合。

本申请实施方式的一种包含计算机程序的非易失性计算机可读存储介质，当所述计算机程序被一个或多个处理器执行时，使得所述处理器执行所述光路调节方法。所述光路调节方法用于检测设备，所述检测设备包括泵浦光路及检测光路，泵浦光束沿所述泵浦光路传输至所述工件，检测光束沿所述检测光路传输至工件，所述光路调节方法包括：设置检测反射镜的反射面于所述工件所在位置，且使所述检测反射镜垂直于所述检测光束和所述泵浦光束所在的入射面；及调节所述泵浦光束的传播方向，和/或调节所述检测光束的传播方向，使所述泵浦光路中所述泵浦光束与经所述检测反射镜反射后的光束重合，及所述检测光路中所述检测光束与经所述检测反射镜反射后的光束重合。

本申请实施方式的检测设备中，通过设置垂直检测光束和泵浦光束的检测反射镜，通过对检测光束和泵浦光束的传播方向的调节，使得泵浦光路中的泵浦光束与经所述检测反射镜反射后的光束重合，及检测光路中的检测光束与经检测反射镜反射后的光束重合，从而实现检测光束和泵浦光束相互配合，以入射至工件的同一位置从而对工件进行检测，从而提高检测准确性。

本申请的实施方式的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实施方式的实践了解到。

附图说明

本申请的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本申请某些实施方式的光路调节方法的流程示意图；

图2是本申请某些实施方式的检测设备的结构示意图；

图3是本申请某些实施方式的检测设备的结构示意图；