[发明专利]发光二极管外延片及其制备方法有效
申请号: | 202110348802.1 | 申请日: | 2021-03-31 |
公开(公告)号: | CN113284996B | 公开(公告)日: | 2022-08-12 |
发明(设计)人: | 王群;郭志琰;葛永晖;郭炳磊;董彬忠;李鹏 | 申请(专利权)人: | 华灿光电(浙江)有限公司 |
主分类号: | H01L33/14 | 分类号: | H01L33/14;H01L33/06;H01L33/32;H01L33/00 |
代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 吕耀萍 |
地址: | 322000 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了发光二极管外延片及其制备方法,属于发光二极管制作领域。复合电子阻挡层设置为p型掺杂GaN层与n个复合结构,n个复合结构沿p型掺杂GaN层的生长方向依次间隔插设在p型掺杂GaN层内。p型掺杂GaN层本身及p型GaN层内缺陷较少,p型掺杂GaN层本身也可以提供较为充足的空穴,最终进入多量子阱层内的空穴数量可以得到增加,发光二极管的发光效率可以得到提高。每个复合结构均包括沿p型掺杂GaN层的生长方向依次层叠的AlInN子层、InGaN子层与AlGaN子层,复合结构本身可以起到一定的阻挡作用,并在阻挡的同时低势垒的InGaN子层部位起到积累空穴的作用,提高发光二极管的发光均匀度。 | ||
搜索关键词: | 发光二极管 外延 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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