[发明专利]一种基于低温类金刚石涂层增强的多孔材料的制备方法

摘要

一种基于低温类金刚石涂层增强的多孔材料的制备方法，包括：将多孔材料置于射频化学气相沉积装置中，进行表面预处理，即对多孔材料进行氢离子刻蚀；对多孔材料表面进行射频化学气相沉积类金刚石涂层。本发明制备的多孔材料，显著提升了多孔材料的强度和表面耐磨损性能，制备过程中通过将多孔材料与射频化学气相沉积装置真空反应腔室的进气管相连接，使得反应气体仅可通过多孔材料的空隙进入反应腔室，在制备过程中多孔材料的表面孔隙始终保持反应气体的流通，避免了类金刚石涂层堵塞多孔材料表面孔隙的缺陷，此外，本发明制备过程在常温下进行，避免了多孔材料基体的热变形，简化了后续加工工艺，在气体润滑，尤其是气浮轴承领域具有广泛的应用前景。