[发明专利]基于数字孪生的喷淋系统设计方法在审
| 申请号： | 202110340779.1 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN113111602A | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 李辉;申胜男;司甜芳;明瑞鉴 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | G06F30/28 | 分类号： | G06F30/28;G06F113/08;G06F119/14 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 郑勤振 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了一种基于数字孪生的喷淋系统设计方法，包括：构建喷淋系统的数字孪生体数据库，通过建模仿真计算得到不同工艺参数下的铜层体积分数结果，并确定良质产品的工艺参数范围；实时感知和采集喷淋数据，并将喷淋数据实时传送到数字孪生体数据库中，数字孪生体数据库接收喷淋数据，根据喷淋数据对应的工艺参数调出当前加工状态下铜层蚀刻效果的数字孪生图像，并输出其相对于良质产品工艺参数误差范围；根据当前加工状态下铜层蚀刻效果的数字孪生图像，并且以工艺参数误差范围作为参考，对喷淋系统的蚀刻液工艺参数进行实时调控，直至工艺参数误差范围达到设定范围，蚀刻出良质产品。实现了对工艺参数的预测性调控，省去了传统方法的验证过程。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 数字 孪生 喷淋 系统 设计 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉大学，未经武汉大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110340779.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
