[发明专利]基于数字孪生的喷淋系统设计方法

权利要求书

1.一种喷淋系统设计方法，其特征在于，包括：

构建所述喷淋系统的数字孪生体数据库，通过建模仿真计算得到不同工艺参数下的铜层体积分数结果，并确定良质产品的工艺参数范围；

通过传感器实时感知和采集喷淋数据，并将所述喷淋数据实时传送到所述数字孪生体数据库中，所述数字孪生体数据库接收所述喷淋数据，根据所述喷淋数据对应的工艺参数调出当前加工状态下铜层蚀刻效果的数字孪生图像，并输出其相对于良质产品工艺参数误差范围；

根据当前加工状态下铜层蚀刻效果的数字孪生图像，并且以所述工艺参数误差范围作为参考，对所述喷淋系统的蚀刻液工艺参数进行实时调控，直至所述工艺参数误差范围达到设定范围，蚀刻出良质产品。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在建立所述数字孪生体数据库时根据对比观测实验样品的蚀刻轮廓图指定若干个情况下的结果是符合标准的，调出不同数字孪生图像下的工艺参数，对比来自传感器的所述喷淋数据和符合标准的蚀刻轮廓图所对应的喷淋数据，输出所述工艺参数误差范围。