[发明专利]一种基于Bragg光栅和横向波导结构的雪崩光电探测器

摘要

本发明公开了一种基于Bragg光栅和横向波导结构的雪崩光电探测器，包括：衬底；形成于衬底之上的波导，用于光传输并将光场耦合到吸收层，同时作为电荷层对吸收层和倍增层的电场进行调节；位于波导两侧的倍增层，用于提供载流子雪崩倍增效应；位于倍增层两侧并与阴极电极形成欧姆接触的第一接触层；位于波导之上的吸收层，用于吸收光子并将其转化成为电子与空穴，以提供光电流；内嵌于吸收层上方并与阳极电极形成欧姆接触的第二接触层；与电源和第一接触层相连的阴极电极；与电源和第二接触层相连的阳极电极；位于波导末端的Bragg光栅，用于将波导末端出射光场进行反射。通过Bragg光栅与横向波导结合，使得器件响应度较高的同时减小Ge吸收层长度。