[发明专利]发射针形成方法、发射针、电子源及电子显微镜在审
| 申请号： | 202110323708.0 | 申请日： | 2021-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN112908809A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 郝占海;蔡素枝;陆梁 | 申请（专利权）人： | 大束科技（北京）有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J9/02 | 分类号： | H01J9/02;H01J37/04;H01J37/073;H01J37/285 |
| 代理公司： | 北京细软智谷知识产权代理有限责任公司 11471 | 代理人： | 韩国强 |
| 地址： | 102200 北京市昌平区回*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种发射针形成方法、发射针、电子源及电子显微镜，涉及电子显微镜技术领域，发射针形成方法包括将直径为0.1‑0.5mm的柱形体的部分置入电化学腐蚀液中，向电化学腐蚀液中通入第一电流，柱形体与电化学腐蚀液发生电化学腐蚀，直至柱形体靠近电化学腐蚀液液面的位置断开形成上下两段；将上段柱形体的断开处置入电化学腐蚀液的液面以下，向电化学腐蚀液通入第二电流，第一电流的强度大于第二电流的强度，上段柱形体的断开处与带电流的电化学腐蚀液n次接触，n为大于或等于0的正整数，直至断开处的端面形成半径大小为0.1‑0.3um的圆滑表面。如此设置，将存在凹凸不平处和微裂纹的部分腐蚀掉，形成圆滑表面，电子发射过程会更加均匀和稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 发射 形成 方法 电子 电子显微镜 | ||
【主权项】：
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