[发明专利]水平度测量装置和水平度调节方法在审
| 申请号： | 202110314763.3 | 申请日： | 2021-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN113091707A | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 王欢 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01C9/00 | 分类号： | G01C9/00 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 施敬勃 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种水平度测量装置和水平度调节方法，水平度测量装置用于测量位于半导体设备中的被测物体和基准物体之间的水平度，被测物体和基准物体均设置于由透明罩和反应腔体围成的反应腔室内，水平度测量装置包括安装件、连接件和测距传感器，安装件能够设置于半导体设备上，测距传感器通过连接件活动安装于安装件，且测距传感器可透过透明罩测量被测物体上多个预设位置与基准物体上对应位置之间在基准物体的轴向上的第一间距，第一间距用于测量被测物体和基准物体之间的水平度。上述技术方案可以解决目前基座等被测物体和预热环等基准物体之间的相对水平度的测量精度差，且影响工艺连续性的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 水平 测量 装置 调节 方法 | ||
【主权项】：
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