[发明专利]线宽测量方法和线宽测量装置在审
| 申请号： | 202110307788.0 | 申请日： | 2021-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN113091673A | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 王明望 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/02 | 分类号： | G01B21/02 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 徐世俊 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供一种线宽测量方法和线宽测量装置，线宽测量方法包括：采集测量样本的视野图像，所述测量样本为具有线路图案的基板；将预存的与所述视野图像中的特征图案对应的标准图案与所述特征图案进行匹配；若匹配成功，则在所述视野图像中获取预设图案；以所述预设图案为基准定位所述视野图案中的待测图案，并对所述待测图案的目标线宽进行测量，以得到所述目标线宽的测量结果。本申请实施例使用两级定位来减少特征图案的偏移对线宽测量的影响，提高了线路边线抓取识别的准确性，使得线宽测量结果可靠，进而减小了对显示面板制程的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 测量方法 测量 装置 | ||
【主权项】：
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