[发明专利]发光二极管外延片及其制备方法有效
| 申请号: | 202110305662.X | 申请日: | 2021-03-19 |
| 公开(公告)号: | CN113206175B | 公开(公告)日: | 2023-10-13 |
| 发明(设计)人: | 洪威威;王倩;董彬忠;梅劲;张奕 | 申请(专利权)人: | 华灿光电(浙江)有限公司 |
| 主分类号: | H01L33/06 | 分类号: | H01L33/06;H01L33/14;H01L33/00 |
| 代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 吕耀萍 |
| 地址: | 322000 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 本发明公开了发光二极管外延片及其制备方法,属于发光二极管制作领域。在多量子阱层和AlGaN电子阻挡层之间增加复合层,复合层包括依次层叠在多量子阱层上的第一子层、第二子层与第三子层。第一子层中交替层叠的InN层与掺有p型杂质的GaN层,提高GaN层中空穴数量。第二子层包括交替层叠的SiN层与AlN层,提高复合层的质量的同时起到一定的阻挡电子的作用。最后通过生长包括AlGaN层的第三子层,复合层及复合层后的AlGaN电子阻挡层的质量均可以得到提高,进入多量子阱层内的空穴数量也可以得到提高,最终发光二极管的发光效率可以得到大幅度提高。 | ||
| 搜索关键词: | 发光二极管 外延 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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