[发明专利]一种微机械谐振式压力传感器及制造方法

摘要

本发明公开了一种微机械谐振式压力传感器及制造方法。所述微机械谐振式压力传感器包括感压膜、支撑梁和谐振梁；所述谐振梁置于感压膜上方，支撑梁根部形成有激励电阻和检查电阻；所述支撑梁形成于谐振梁上方，每个支撑梁根部制作检测电阻用于检测支撑梁根部应变；所述感压膜由经过各向异性腐蚀液腐蚀SOI硅片背面形成；本发明采用梁‑膜一体化结构，改善传感器压力与谐振频率的线性变化，提高传感器的压力灵敏度和线性度；本发明采用双谐振梁差分结构，两个谐振梁具有相同的固有频率，利用差频输出来表征传感器的压力特性，消除了由于温度等环境因素引起的工作梁谐振频率的变化，从而提高了传感器的测量精度和稳定性。