[发明专利]金属互连线的自限制效应阈值的确定方法及其确定装置有效
| 申请号： | 202110296965.X | 申请日： | 2021-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN113065308B | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 王志强 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G06F30/394 | 分类号： | G06F30/394;G06F30/398;G06F17/15;G06F111/10;G06F119/02 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 霍文娟 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种金属互连线的自限制效应阈值的确定方法及其确定装置，自限制效应阈值为金属互连线的电迁移临界值，该方法包括：获取多个不同的第一参数值和多个不同的第二参数值，第一参数值为金属互连线的长度与金属互连线的电迁移寿命的比值，第二参数值为金属互连线的电流密度与长度的乘积；根据多个第一参数值和多个第二参数值，构建第一参数值和第二参数值的函数关系；根据函数关系，确定预定材料的自限制效应阈值，自限制效应阈值为第一参数值为0时对应的第二参数值，金属互连线由预定材料构成，在金属互连线的第二参数值小于自限制效应阈值的情况下，金属互连线不发生电迁移。根据自限制效应阈值，可以缓解金属互连线的电迁移效应。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 互连 限制 效应 阈值 确定 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
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