[发明专利]体声波谐振器和滤波器在审
申请号: | 202110295452.7 | 申请日: | 2017-01-25 |
公开(公告)号: | CN112953437A | 公开(公告)日: | 2021-06-11 |
发明(设计)人: | 李泰京;姜仁瑛;申兰姬;孙晋淑 | 申请(专利权)人: | 三星电机株式会社 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02;H03H9/05;H03H9/17 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 包国菊;金光军 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供了一种体声波谐振器和滤波器,所述体声波谐振器包括:基板;第一电极,设置在所述基板之上;压电主体,设置在所述第一电极上,并包括具有掺杂材料的氮化铝;以及第二电极,设置在所述压电主体上,其中,所述压电主体沿厚度方向包括多个区域,并且所述多个区域至少包括第一区域和第二区域,所述第一区域的在c轴方向上的晶格常数与在a轴方向上的晶格常数的比c/a,大于所述第二区域的在c轴方向上的晶格常数与在a轴方向上的晶格常数的比c/a。 | ||
搜索关键词: | 声波 谐振器 滤波器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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