[发明专利]一种利用碳化硅晶体金刚线切割废液制备碳化硅陶瓷的方法在审
| 申请号： | 202110295152.9 | 申请日： | 2021-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN112851356A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/565 | 分类号： | C04B35/565;C04B35/622 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 荣玲 |
| 地址： | 150000 黑龙江省哈尔滨市松北区智谷二街3*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种利用碳化硅晶体金刚线切割废液制备碳化硅陶瓷的方法。为避免碳化硅晶体金刚线切割废液中SiC粉体与金刚石颗粒的浪费，本发明提供了一种利用碳化硅晶体金刚线切割废液制备碳化硅陶瓷的方法，步骤包括一级过滤、二级过滤、清洗干燥、制备胚料和烧制碳化硅陶瓷。本发明将碳化硅晶体金刚线切割废液回收用于碳化硅陶瓷制备，达到了节约成本、提高经济效益、废物再利用和保护环境的目的。通过本发明方法得到的碳化硅陶瓷致密度为97％以上，维氏硬度为20～25GPa，抗弯强度为800～1000MPa，断裂韧性为6～12MPa·m |
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| 搜索关键词： | 一种 利用 碳化硅 晶体 金刚 切割 废液 制备 陶瓷 方法 | ||
【主权项】：
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