[发明专利]用于基板的线路量测系统在审
| 申请号： | 202110293076.8 | 申请日： | 2021-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN113884508A | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 邹嘉骏;林伯聪;黄冠勋;张勋豪 | 申请（专利权）人： | 由田新技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01B11/02;G01B11/06;G01B11/28;G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 王立民;曾晨 |
| 地址： | 中国台湾新北市中*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于基板的线路量测系统，包括一第一光源、一第二光源、一影像捕获设备以及一图像处理装置。该第一光源提供第一颜色光束至一基板上，以显示该基板的一第一区域特征。该第二光源提供第二颜色光束至该基板上，以显示该基板的一第二区域特征。该影像捕获设备影像撷取该基板，以获得该第一区域特征与该第二区域特征。该图像处理装置连接至该影像捕获设备，分析该第一区域特征与该第二区域特征，以获得一线路信息。本发明可以有效的增加线路上若干个特征区域之间的影像对比度，借此可以提升线路量测的精准度，进而增加检测的准确率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 线路 系统 | ||
【主权项】：
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