[发明专利]用于基板的线路量测系统

权利要求书

1.一种用于基板的线路量测系统，其特征在于，包括：

一第一光源，提供第一颜色光束至一基板上，以显示该基板的一第一区域特征；

一第二光源，提供第二颜色光束至该基板上，以显示该基板的一第二区域特征；

一影像捕获设备，影像撷取该基板，以获得该第一区域特征与该第二区域特征；以及

一图像处理装置，连接至该影像捕获设备，分析该第一区域特征与该第二区域特征，以获得一线路信息。

2.根据权利要求1所述的用于基板的线路量测系统，其特征在于，该线路信息包括线路上幅宽度、线路下幅宽度、侧壁区域宽度、侧壁区域面积或/及侧壁区域表面质量。

3.根据权利要求1所述的用于基板的线路量测系统，其特征在于，该影像捕获设备所拍摄到的该基板的线路影像包括一第三区域特征，混和该第一颜色与该第二颜色的光束，以显示于该基板上。

4.根据权利要求3所述的用于基板的线路量测系统，其特征在于，该第一区域特征包括线路上幅平面或该基板底部平面上的影像特征；其中该第二区域特征包括线路侧壁上的影像特征；其中该第三区域特征包括线路上幅平面与线路侧壁的交界处的影像特征，或该基板的底部平面与线路侧壁的交界处的影像特征。

5.根据权利要求1所述的用于基板的线路量测系统，其特征在于，该影像捕获设备的光轴方向与该基板的平面呈现一拍摄角度，该拍摄角度介于0度至90度之间。

6.根据权利要求5所述的用于基板的线路量测系统，其特征在于，该第一光源包括一同轴光源，或相对于该基板的平面的一正向光源；其中该第二光源包括一侧向光源。

7.根据权利要求6所述的用于基板的线路量测系统，其特征在于，该影像捕获设备的光轴方向与该正向光源的光输出方向之间的取像角度介于20度至40度；该影像捕获设备的光轴方向与该侧向光源的光输出方向之间的夹角介于30度至50度。

8.根据权利要求1所述的用于基板的线路量测系统，其特征在于，该第一光源或该第二光源包括红、绿、蓝三色光源的其中一种；其中该第一光源与该第二光源的颜色不同。

9.一种用于基板的线路量测系统，其特征在于，包括：

一第一光源组，提供一第一颜色光束与一第二颜色光束至该基板上，以显示基板的一第一线路影像特征；

一第一影像捕获设备，设置于该基板的上视方向侧，以撷取该第一线路影像特征；

一第二光源组，提供具有该第一颜色光束与该第二颜色光束至该基板上，以显示该基板的一第二线路影像特征；

一第二影像捕获设备，设置于该基板的侧视方向侧上，以撷取该第二线路影像特征；以及

一图像处理装置，分析该第一线路影像特征与该第二线路影像特征，以获得一线路信息。

10.根据权利要求9所述的用于基板的线路量测系统，其特征在于，该第一线路影像特征或第二线路影像特征包括由提供该第一颜色光束至该基板所显示的第一区域特征、提供该第二颜色光束至该基板所显示的第二区域特征以及混和该第一颜色光束与该第二颜色光束至该基板所显示的第三区域特征。

11.根据权利要求10所述的用于基板的线路量测系统，其特征在于，该第一区域特征包括线路上幅平面或该基板的底部平面上的影像特征；其中该第二区域特征包括线路侧壁上的影像特征；其中该第三区域特征包括线路上幅平面与线路侧壁的交界处的影像特征，或该基板的底部平面与线路侧壁的交界处的影像特征。

12.根据权利要求9所述的用于基板的线路量测系统，其特征在于，该第二影像捕获设备的光轴方向与该基板的平面呈现一拍摄角度，介于0度至90度之间。