[发明专利]一种自校正MEMS电容式湿度传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 202110289409.X | 申请日： | 2021-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN112683966B | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 李维平;李军伟;董旭光;兰之康 | 申请（专利权）人： | 南京高华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 李明;赵吉阳 |
| 地址： | 210049 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出一种自校正MEMS电容式湿度传感器及其制备方法，包括依次堆叠的帕尔贴制冷器及湿度敏感电容，将MEMS敏感电容与帕尔贴制冷器集成，从而通过帕尔贴制冷器控制敏感电容的温度，可以近似获得相对湿度为0和100%时的电容输出值。进而对湿度传感器的输出进行校正。整个校正过程简单，并且可以由外部电路控制自动完成，提高传感器的测量精度，降低校正成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 校正 mems 电容 湿度 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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