[发明专利]一种金刚线切割液及其制备方法有效
| 申请号： | 202110287448.6 | 申请日： | 2021-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN113072999B | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 邓剑明 | 申请（专利权）人： | 广东剑鑫科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C10M173/02 | 分类号： | C10M173/02;G16C10/00;C10N40/22 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 吴金水 |
| 地址： | 523000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金刚线切割液及其制备方法，属于硅加工技术领域。该金刚线切割液包括以下重量份的各组分：聚乙二醇40‑60份、润滑剂10‑20份、散热剂1‑5份、阴离子表面活性剂1‑2份、防腐剂0.5‑2份、去离子水40‑50份。本发明的金刚线切割液，以去离子水为载体，水基切割液，容易清洗，对环境友好。本发明的金刚线切割液以聚乙二醇与丙二醇和乙二醇为润滑剂，可以有效降低金刚线切割硅锭产生硅颗粒，辅以散热剂，可以有效散热，这样大大延长了金刚线切割液的使用寿命。本发明的金刚线切割液的切缝的崩边、裂缝和粗糙度性能优异，可以提高金刚线切割的切割质量和降低金刚线切割的切割成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚 切割 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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