[发明专利]一种在线检测透明元件前后表面面形的方法在审
| 申请号： | 202110276196.7 | 申请日： | 2021-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN115077727A | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 李大海;郑万兴;王瑞阳;张新伟;葛忍好;余林治 | 申请（专利权）人： | 四川大学 |
| 主分类号： | G01J9/02 | 分类号： | G01J9/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610065 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种基于光线追迹和功率谱估计的相位测量偏折术，它可用于透明元件前后表面面形的在线检测。首先，显示器显示频率不同的正弦条纹图，经过透明元件前后表面反射之后，由针孔相机进行采集；接下来，使用功率谱估计的方法求解出前后表面对应的显示器坐标；最后，利用光线追迹和非线性优化，得到透明元件前后表面的面形信息。该方法可以实现透明元件前后表面面形的在线检测，避免了离线检测中透明元件移动带来的测量误差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 在线 检测 透明 元件 前后 表面 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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