[发明专利]采用真空蒸发镀膜可控制备非晶柔性Bi-Te-Se膜的方法有效

专利信息
申请号: 202110271146.X 申请日: 2021-03-12
公开(公告)号: CN113122809B 公开(公告)日: 2022-12-27
发明(设计)人: 谭明;王亚玲;贾树恒;李辉;李聪;张梦娇;祁诗阳;刘小标 申请(专利权)人: 河南农业大学
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/06;C23C14/54
代理公司: 天津市三利专利商标代理有限公司 12107 代理人: 刘英兰
地址: 450002*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 发明涉及一种采用真空蒸发镀膜可控制备非晶柔性Bi‑Te‑Se膜的方法,步骤如下:(1)将质量百分比纯度为99.99%的Bi2Te2.7Se0.3粉末在3~5MPa压力下压制成块体;(2)柔性基底在无水乙醇和去离子水中分别超声清洗5~10min后取出,用氮气吹干;(3)将0.1~0.2g的Bi2Te2.7Se0.3材料压制成的块体放入真空镀膜机的真空室钨舟中,调节基底与钨舟的距离d=8~11cm;(4)向真空室内充入2~8min氮气后停止,随后抽真空;(5)在PID控制器上设定沉积速率40~75nm/min,沉积时间40~60min;(6)开启交流电源,调节输出电流170~185A;打开样品台自转25~30r/min;在基底上沉积制备非晶柔性Bi2Te2.7Se0.3膜;(7)制备完毕。本发明方法简单、新颖,生产环境、反应条件宽松,具有非常显著的实用价值和经济效益。
搜索关键词: 采用 真空 蒸发 镀膜 可控 制备 柔性 bi te se 方法
【主权项】:
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