[发明专利]氯硅烷充装系统和充装方法有效
| 申请号： | 202110270910.1 | 申请日： | 2021-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN112944205B | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 刘见华;王磊;赵雄;万烨;赵宇;严大洲 | 申请（专利权）人： | 中国恩菲工程技术有限公司;洛阳中硅高科技有限公司 |
| 主分类号： | F17C5/06 | 分类号： | F17C5/06;F17C13/02;F17D1/04;F17D3/01;F17D5/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 杜德海 |
| 地址： | 100038*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种氯硅烷充装系统和氯硅烷充装方法，氯硅烷充装系统包括充装管、保护气源、氯硅烷储罐、气液分离装置、真空泵和冷却装置，充装管具有保护气口、氯硅烷进口、抽真空口和充装接口，保护气源与保护气口连通，氯硅烷储罐与氯硅烷进口连通，气液分离装置设在充装管上，气液分离装置位于氯硅烷进口和充装接口之间，真空泵与抽真空口连通，冷却装置设在充装管上且位于气液分离装置和充装接口之间，冷却装置用于将气态氯硅烷冷却为液态氯硅烷并分离和排出氯硅烷中的不凝气体。本发明的氯硅烷充装系统，避免了氯硅烷中杂质和颗粒度超标的情况，提升了氯硅烷的充装品质。 | ||
| 搜索关键词： | 硅烷 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国恩菲工程技术有限公司;洛阳中硅高科技有限公司，未经中国恩菲工程技术有限公司;洛阳中硅高科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110270910.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
