[发明专利]氯硅烷充装系统和充装方法

说明书

本发明公开了一种氯硅烷充装系统和氯硅烷充装方法，氯硅烷充装系统包括充装管、保护气源、氯硅烷储罐、气液分离装置、真空泵和冷却装置，充装管具有保护气口、氯硅烷进口、抽真空口和充装接口，保护气源与保护气口连通，氯硅烷储罐与氯硅烷进口连通，气液分离装置设在充装管上，气液分离装置位于氯硅烷进口和充装接口之间，真空泵与抽真空口连通，冷却装置设在充装管上且位于气液分离装置和充装接口之间，冷却装置用于将气态氯硅烷冷却为液态氯硅烷并分离和排出氯硅烷中的不凝气体。本发明的氯硅烷充装系统，避免了氯硅烷中杂质和颗粒度超标的情况，提升了氯硅烷的充装品质。

技术领域

本发明涉及氯硅烷充装技术领域，具体地，涉及一种氯硅烷充装系统和氯硅烷充装方法。

背景技术

相关技术中，诸如二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅、一氯三氢硅的氯硅烷多采用气瓶充装，利用压差将氯硅烷导入气瓶内，从而完成充装。

但是，上述充装方式存在以下问题：①在进行单口气瓶的充装时，因气瓶只有一个进口，无排气口，进料会压缩气瓶内空间，随着进料增加，瓶内空间越来越小，进料与气瓶压差减小，使得充装时间长，且充装过程容易受环境温度影响，在环境温度较高，物料易气化，导致瓶内压力升高，使得原料无法进一步充入瓶内，达不到设定重量无法有效控制；②原料、充装管路等充装系统内存在微量水、氢气、金属、固体颗粒物等杂质，容易导致氯硅烷中杂质超标，影响氯硅烷的充装品质，但现有方案未有进一步的纯化措施；③针对部分加装过滤器的充装系统，一定程度上虽然会提升充装品质，但是过滤器需要频繁更换，增加了充装成本。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。

为此，本发明实施例提出一种氯硅烷充装系统，该氯硅烷充装系统避免了氯硅烷中杂质和颗粒度超标的情况，提升了氯硅烷的充装品质和充装效率。

本发明实施例还提出一种应用上述氯硅烷充装系统的充装方法。

根据本发明实施例的氯硅烷充装系统包括：充装管，所述充装管具有保护气口、氯硅烷进口、抽真空口和适于与氯硅烷气瓶相连的充装接口；保护气源，所述保护气源与所述保护气口连通、用于向所述充装管内供入保护气体以吹扫所述充装管；氯硅烷储罐，所述氯硅烷储罐与所述氯硅烷进口连通，所述氯硅烷储罐用于存储和亚沸蒸发液态氯硅烷以向所述充装管内供给气态氯硅烷；气液分离装置，所述气液分离装置设在所述充装管上，所述气液分离装置位于所述氯硅烷进口和所述充装接口之间，所述气液分离装置用于分离从所述氯硅烷进口供给到所述充装管内的气态氯硅烷中的液滴；真空泵，所述真空泵与所述抽真空口连通，所述真空泵用于对所述充装管以及与所述充装接口相连的氯硅烷气瓶抽真空；冷却装置，所述冷却装置设在所述充装管上且位于所述气液分离装置和所述充装接口之间，所述冷却装置用于将所述气态氯硅烷冷却为液态氯硅烷并分离和排出所述氯硅烷中的不凝气体。

根据本发明实施例的氯硅烷充装系统，避免了氯硅烷中杂质和颗粒度超标的情况，提升了氯硅烷的充装品质。

在一些实施例中，所述冷却装置为深冷器。

在一些实施例中，所述氯硅烷充装系统还包括回流管，所述回流管连接在所述气液分离装置和所述氯硅烷储罐之间，用于将所述液滴回流至所述氯硅烷储罐内。

在一些实施例中，所述氯硅烷充装系统还包括称重装置和第一加热装置，所述称重装置用于对所述氯硅烷气瓶称重，所述第一加热装置用于加热所述气瓶以将所述氯硅烷气瓶内的部分液态氯硅烷加热为气态氯硅烷。

在一些实施例中，所述氯硅烷充装系统还包括检测设备，所述检测设备与所述氯硅烷气瓶可拆卸地连接，以便所述氯硅烷气瓶内的部分液态氯硅烷由所述第一加热装置加热为气态的氯硅烷并进入所述检测设备内以进行检测。

在一些实施例中，所述氯硅烷充装系统还包括设在所述充装接口处的充装阀和控制器，所述控制器与所述称重装置和所述充装阀相连以根据所述称重装置的称重值控制所述充装阀。