[发明专利]一种可调谐垂直腔面发射激光器及其制备方法有效
| 申请号： | 202110252252.3 | 申请日： | 2021-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN113054531B | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 肖垚;王俊;刘恒;闵大勇 | 申请（专利权）人： | 苏州长光华芯光电技术股份有限公司;苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/042;H01S5/12;H01S5/062;H01S5/068 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 薛异荣 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市高新区昆仑山路189号*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种可调谐垂直腔面发射激光器及其制备方法，其中，可调谐垂直腔面发射激光器包括：衬底层；位于所述衬底层上的增益结构；位于所述增益结构背向所述衬底层一侧的光栅层，所述光栅层包括若干栅本体和相邻栅本体之间的光栅缝，所述栅本体的材料为电光材料；位于所述增益结构背向所述衬底层一侧的第一电极层，所述第一电极层适于对所述栅本体加电调制。所述可调谐垂直腔面发射激光器稳定性和可靠性提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调谐 垂直 发射 激光器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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