[发明专利]基于光刻机的传感器标定方法及系统有效
| 申请号： | 202110240313.4 | 申请日： | 2021-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN113155003B | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 朱煜;杨开明;雷声;成荣;鲁森;李鑫;刘涛 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 张超艳;董永辉 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于光刻机的传感器标定方法及系统，包括：安装传感器于光刻机的工件台测量工件台的位移，将位移转换为电压，通过模/数转换器转换成数字信号；在传感器测量工件台的位移之前，向模/数转换器输入设定范围的电压，获得多个电压值对应的多个数字值，采用曲线拟合方法拟合电压值和数字值的曲线；传感器测量工件台的位移，通过模/数转换器转换成数字信号，将数字信号进行平移变换；通过所述曲线对所述数字信号进行标定；对标定后的数字信号进行溢出值处理；将溢出值处理后的数字信号进行反平移变换，获得的数字信号作为原始信号。上述方法及系统快速对传感器数据进行标定，并正确处理临界值。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 光刻 传感器 标定 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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