[发明专利]基于光刻机的传感器标定方法及系统

说明书

本发明提供一种基于光刻机的传感器标定方法及系统，包括：安装传感器于光刻机的工件台测量工件台的位移，将位移转换为电压，通过模/数转换器转换成数字信号；在传感器测量工件台的位移之前，向模/数转换器输入设定范围的电压，获得多个电压值对应的多个数字值，采用曲线拟合方法拟合电压值和数字值的曲线；传感器测量工件台的位移，通过模/数转换器转换成数字信号，将数字信号进行平移变换；通过所述曲线对所述数字信号进行标定；对标定后的数字信号进行溢出值处理；将溢出值处理后的数字信号进行反平移变换，获得的数字信号作为原始信号。上述方法及系统快速对传感器数据进行标定，并正确处理临界值。

技术领域

本发明涉及半导体装备技术领域，特别涉及一种基于光刻机的传感器标定方法及系统。

背景技术

光刻机双工件台由于系统复杂，对精度要求高，安装有大量传感器来监测系统各项指标。传感器信号受系统环境与实际使用场景的影响较大，因此需要通过标定来保证传感器的测量精度。

本发明所采用的电涡流传感器应用于光刻机双工件台系统中，该系统具有较高的精度要求，因此传感器需要进行标定，以获得更高的精度。传感器的数据经过AD采样后传递给FPGA，FPGA直接对传感器数据进行标定及临界值处理，转化为电压值，并进行阈值判断等操作。由于传感器count值的首位为符号位，0代表正电压，1代表负电压，这导致count值与电压值之间的对应关系是分段的，在count值0x1FFFF到0x20000处会产生从正电压最大值到负电压最大值的跳变，从而产生数据异常，严重影响系统性能。而如果对数据进行分段标定，则对同一传感器需要两套标定数据，比较费时。

发明内容

为了解决现有技术中存在的问题和满足本领域未来的发展需求，本发明提供了一种基于光刻机的传感器标定方法，包括：

安装传感器于光刻机的工件台，所述传感器用于测量工件台的位移，传感器将位移转换为电压，通过模数转换器转换成数字信号；

在传感器测量工件台的位移之前，向模数转换器输入设定范围的电压，获得多个电压值对应的多个数字值，采用曲线拟合方法拟合电压值和数字值的曲线；

传感器测量工件台的位移，通过模数转换器转换成数字信号，将数字信号进行平移变换；

通过所述曲线对所述数字信号进行标定；

对标定后的数字信号进行溢出值处理；

将溢出值处理后的数字信号进行反平移变换，获得的数字信号作为原始信号。

可选地，所述将数字信号进行平移变换，具体为：

将数字信号减去设定值，获得更新后的数字信号，所述设定值使得更新后的数字信号在负电压最大值和正电压最大值对应的数字信号范围内。

可选地，所述传感器的正电压最大值对应的数字信号为第一电压，所述负电压最大值对应的数字信号为第二电压，所述设定值为第三电压。

可选地，所述通过所述曲线对所述数字信号进行标定，具体为：

采用曲线拟合方法拟合电压值和数字值的直线；

根据传感器测量工件台的位移之前拟合的直线的斜率和截距获得更新后的数字信号对应的电压值。

可选地，所述对标定后的数字信号进行溢出值处理，具体为：

将超过正电压最大值的更新后的数字信号对应的电压值设定为正电压最大值；

将小于负电压最大值的更新后的数字信号对应的电压值设定为负电压最大值。

可选地，所述在传感器测量工件台的位移之前，向模数转换器输入设定范围的电压具体为：向模数转换器等差输入设定范围的电压。