[发明专利]分析装置、分析方法和分析程序在审
| 申请号： | 202110240073.8 | 申请日： | 2021-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN113390856A | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 田中康基;永井龙 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/73 | 分类号： | G01N21/73;G06F17/18;G06N20/00;G06N5/04 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;刘芃茜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供基于时序数据组，对制造工艺的处理空间的环境定量地进行评价的分析装置、分析方法和分析程序。分析装置包括：学习部，其使用伴随处理空间中的对对象物的处理而测量的时序数据组进行机器学习，计算表示各测量项目间的、对应的时间范围的时序数据的关联性的值；和评价部，其使用伴随处理空间的在已知环境下对对象物的处理而测量的时序数据组，基于通过由上述学习部进行机器学习而计算出的表示上述关联性的值，对处理空间的未知环境进行评价。 | ||
| 搜索关键词： | 分析 装置 方法 程序 | ||
【主权项】：
暂无信息
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