[发明专利]粒子束系统、操作粒子束系统的方法以及计算机程序产品有效
| 申请号： | 202110237457.4 | 申请日： | 2021-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN113363126B | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | A.施曼兹 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/30 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及允许借助于气体(45)处理低温样本(5)的粒子束系统(1)和用于操作粒子束系统(1)的方法。根据本发明，气体以局部受限的方式释放在粒子束系统(1)的真空腔室(29)中的样本(5)的表面附近。气体(45)的温度适于样本(5)的温度。如果合适的话，气体(45)例如通过热交换器(51)冷却，该热交换器布置在粒子束系统(1)的真空腔室29)中并且借助于冷却介质或借助于冷却元件来对气体(45)进行冷却。 | ||
| 搜索关键词： | 粒子束 系统 操作 方法 以及 计算机 程序 产品 | ||
【主权项】：
暂无信息
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