[发明专利]一种微显示驱动芯片结构及其制作工艺在审

专利信息
申请号: 202110232728.7 申请日: 2021-02-25
公开(公告)号: CN113013163A 公开(公告)日: 2021-06-22
发明(设计)人: 吕迅 申请(专利权)人: 安徽熙泰智能科技有限公司
主分类号: H01L27/088 分类号: H01L27/088;H01L21/8234
代理公司: 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 代理人: 孟迪
地址: 241000 安徽省芜湖市芜湖长江*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 一种微显示驱动芯片结构及其制作工艺,属于微显示驱动芯片技术领域,该微显示驱动芯片结构,包括半导体衬底及其上设置的MOSFET模块和多晶硅薄膜晶体管模块,半导体衬底上设置有单晶硅有源区,单晶硅有源区上设置MOSFET模块,单晶硅有源区的两侧分别设置有浅沟道隔离结构,其中一个浅沟道隔离结构的上方设置多晶硅有源区,多晶硅有源区上设置多晶硅薄膜晶体管模块,本发明的有益效果是,本发明通过在MOSFET中引入多晶硅薄膜晶体管模块,制备组合驱动芯片,工艺简单,驱动能力强,可避免漏电流大导致的显示异常问题,可降低发热和功耗。
搜索关键词: 一种 显示 驱动 芯片 结构 及其 制作 工艺
【主权项】:
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