[发明专利]光纤用多孔玻璃基材的制造方法在审

专利信息
申请号: 202110228353.7 申请日: 2021-02-26
公开(公告)号: CN113387559A 公开(公告)日: 2021-09-14
发明(设计)人: 野田直人 申请(专利权)人: 信越化学工业株式会社
主分类号: C03B37/014 分类号: C03B37/014
代理公司: 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 代理人: 张莉;王刚
地址: 日本国东京都千*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种制造光纤用多孔玻璃基材的方法,该方法包括以下步骤:将从原料槽供应的有机硅氧烷原料进给到汽化器;将原料和载气在汽化器中混合并汽化;以及通过将原料和载气的混合气体供应至光纤用多孔玻璃基材制造设备中的燃烧器,通过燃烧反应来外部沉积SiO2细颗粒。在开始向燃烧器的原料气体供应管供应原料之前,通过将60℃以上的吹扫气体流入原料气体供应管以及将可燃气体和助燃气体供应到燃烧器以在燃烧器出口处形成氢氧焰从而使得燃烧器的外表面温度为60℃以上,来预热燃烧器和光纤用多孔玻璃基材制造设备的内部。当原料气体供应管的容积是V[L]且气体流速为Q[SLM]时,吹扫气体以满足Q/V350[min‑1]的流速流动。
搜索关键词: 光纤 多孔 玻璃 基材 制造 方法
【主权项】:
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