[发明专利]光纤用多孔玻璃基材的制造方法

权利要求书

1.一种通过在起始材料上沉积玻璃细颗粒来制造光纤用多孔玻璃基材的方法，包括以下步骤：

将从原料槽供应的有机硅氧烷原料进给到汽化器；

将所述原料和载气在所述汽化器中混合并汽化；以及

通过将所述原料和所述载气的混合气体供应至光纤用多孔玻璃基材制造设备中的燃烧器，通过燃烧反应外部沉积SiO₂细颗粒，

其中，

在开始向所述燃烧器的原料气体供应管供应所述原料之前，通过将60℃以上的吹扫气体流入所述原料气体供应管以及将可燃气体和助燃气体供应到所述燃烧器以在所述燃烧器的出口处形成氢氧焰从而使得所述燃烧器的外表面温度为60℃以上，来预热所述燃烧器和所述光纤用多孔玻璃基材制造设备的内部；并且

当所述原料气体供应管从所述燃烧器中的所述原料气体的燃烧器入口到燃烧器出口的容积是V[L]且开始原料供应之前流入所述燃烧器中的所述原料气体供应管的气体流速为Q[SLM]时，流入所述原料气体供应管的所述吹扫气体以满足Q/V350[min^-1]的流速流动。

2.根据权利要求1所述的制造光纤用多孔玻璃基材的方法，其中，

流入所述原料气体供应管的所述吹扫气体以满足Q/V＞450[min^-1]的流速流动。

3.根据权利要求1或2所述的制造光纤用多孔玻璃基材的方法，其中，使用八甲基环四硅氧烷(OMCTS)作为所述有机硅氧烷原料。

4.根据权利要求1所述的制造光纤用多孔玻璃基材的方法，其中，从开始原料供应之前所述吹扫气体流经的所述汽化器到所述原料气体的燃烧器入口的原料气体引入管被加热并保持在140℃以上且220℃以下的温度。